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超高純度コンパクトパネルは、実験施設内の高品位分析ガスを圧力制御するための、VCR 対応の中央ガス供給ユニットです。要求に応じて、これらのユニットは、途切れのないガス供給を可能にするためにスペアシリンダに切り替えます。接触ゲージを使用すると、アナンシエータと組み合わせで空のガスボンベを監視することができます。実験室でのガス分配のための中央ガス供給に最適です。
