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Tescom-P-12 Springless

TESCOM™ 12 シリーズ・スプリングレス・スレッドレス圧力レギュレータ

製品概要

12 シリーズは、小型の超高純度 IGS/VCR® 減圧レギュレータです。12 シリーズでは、5 Ra または10 Ra マイクロインチ表面処理、連結型ダイヤフラム、内部にスプリングもネジも使用しない設計を特徴としています。提供する入口圧力は 150 psig / 10.3 bar、出口圧力は 250 mm Hg-15、30、60、100 psig / 250 mm Hg-1.0、2.1、4.1、6.9 bar で、流量は最大120 SLPM です。OEM 工具、ガスボックス、低圧ガスキャビネットでの使用に最適です。

圧力定格
最大入口圧力:
150 psig / 10.3 bar

最大出口圧力:
250 mm Hg-15 psig / 250 mm Hg-1.0 bar
0-30、0-60、0-100 psig / 0-2.1、0-4.1、0-6.9 bar
材質
本体: 316L VAR ステンレス鋼
ダイアフラム: ハステロイ®
シート: PCTFE
バルブステム: ハステロイ®
残りの材質: 316L VAR ステンレス鋼
動作温度
-40°F ~ 140°F / -40°C ~ 60°C
接続
溶接された継手: 1/4 VCR® またはチューブスタブ
表面実装: 1.125 または 1.50 フットプリント
流量係数
標準: Cv = 0.04
高流量: Cv = 0.08
重量
VCR®、IGS: 0.60 lb / 0.3 kg
A-Style: 1.08 lbs / 0.5 kg
追加情報
カスタム修正または完全なシステムソリューションについては、最寄りの営業所にお問い合わせください。

機能

  • 最新の OEM ガスシステムに最適な製品
  • 超高感度圧力制御により、MFC 性能を強化
  • 幅広い用途で優れた性能を発揮
  • 2 SCFM ~ 120 SLPM の流量
  • マイクロコンポーネントで最高の圧力降下と繰り返し精度
  • メタルダイアフラムが本体をシールし、優れたリーク完全性を実現
  • 10 Ra または 5 Ra マイクロインチの内部表面処理
  • SEMI F19 および SEMI モジュール式インターフェース仕様に準拠

文書と図面