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Tescom-P-23 Springless

TESCOM™ 23スプリングレス・スレッドレス減圧レギュレータ

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製品概要

23シリーズ超高純度インラインレギュレータは、最大950 SLPMの高流量機能を備えた10 Raマイクロインチ仕上げを提供します。タイドダイアフラム23シリーズは内部がスプリングレスかつスレッドレスの設計で、入口圧力は250 psig / 17.2 bar、出口圧力は最大100 psig / 6.9 barです。パージに優れた高流量インラインレギュレータでの使用に最適です。

仕様

圧力定格
最大入口圧力：150 または 250 psig / 10.3 または 17.2 bar
出口圧力レンジ：0-30、0-60、0-100 psig / 0-2.1、0-4.1、0-6.9 bar
材質
本体：316L VARステンレス鋼（電解研磨）
バルブシート：Teflon®またはPCTFE
ダイアフラムとステム：316Lステンレス鋼
シールおよび残りの部品：316ステンレス鋼
動作温度
Teflon®シート： -40°C ～ 71°C / -40°F ～ 160°F
PCTFEシート: -40°F ～140°F / -40°C～60°C
ポートサイズとタイプ
出入口ポート：1/4 MVCR、固定、1/2 FVCR、1/2 MVCR、1/2チューブ、3/4チューブ
ゲージポート：1/4 HPIC、1/4 FVCR、1/4 MVCR、固定、1/4 MVCR、スイベル
流量係数
Cv = 1.8
重量
1.5 kg (3.2 lbs)
追加情報
カスタム修正または完全なシステムソリューションについては、最寄りの営業所にお問い合わせください。

機能

  • 流量経路に障害物がないスムーズな設計なので、完全なパージが可能
  • スプリングもスレッドもない構造のため、粒子の発生を最小限に抑えます。
  • ポジショニング可能なボンネット付きで確実なシャットオフシール
  • メタルダイヤフラムの本体シールにより、優れたリーク完全性が実現
  • SEMI F19、UHPグレードに準拠

文書と図面