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Tescom-P-64-3600

TESCOM™ 64-3600 シリーズ高感度圧力レギュレータ

製品概要

64-3600 シリーズの超高純度、高感度圧力低減レギュレータは、低ドループ、タイドダイアフラム設計、10 Ra / 0.25 μm の表面仕上げで、Hastelloy® トリムを選択できます。入口圧力は 600 または 3500 psig / 41.4 または 241 bar で、排出圧力は最大 150 psig / 10.3 bar です。1/4 " ユースポイント、ガスキャビネット、半導体製造、バルブ・マニホールド・ボックスでの使用に理想的です。

圧力定格
最大入口圧力: 600 または 3500 psig / 41.4 または 241 bar
排出圧力範囲: 30、60、100、150 psig / 2.1、4.1、6.9、10.3 bar
本体材質
316L ステンレス鋼電解研磨または 316L VAR ステンレス鋼電解研磨
ダイヤフラム
Hastelloy®
バルブシート
PCTFE、Teflon PFA® または Vespel®
ステム & バルブスプリング
316 ステンレス鋼
残存部品
316 ステンレス鋼または Hastelloy®
動作温度
Teflon® PFAシート: -40~160 °F / -40~71 °C
Vespel® シート: -40~350 °F / -40~177 °C
PCTFE シート: -40~140 °F / -40~60 °C
ポートサイズとタイプ
1/4"、1/2"
雄型スイベル、雌型スイベル、雄型固定、HPIC
1/4" チューブスタブ
流量係数
Cv = 0.15 または 0.06
重量
2 lbs / 0.9 kg
追加情報
カスタマイズまたはシステムソリューション一式については、最寄りの営業所にお問い合わせください。

機能

  • 10 Ra μ" / 0.25 μm の内部表面処理
  • メタルシール(ダイヤフラムが本体をシールし、優れたリーク完全性を実現)
  • 完全内部電解研磨を選択可能
  • 半導体ガスシステムで圧力変動を低減するように設計されています。
  • ポイントオブユース用途とシリンダ用途の両方で厳しい半導体要件を満たしています

文書と図面