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Tescom-P-64-5000

TESCOM™ 64-5000 シリーズ大気圧レギュレータ

製品概要

64-5000 シリーズ超高純度、絶対 / 大気圧減圧レギュレータは、10 Ra 表面仕上げが施されています。入口圧力 120、600、3500 psig / 8.3、41.4, 241 bar で、出口圧力の範囲は、50 mm Hg 絶対圧 - 15 ~ 100 psig / 50 mm Hg 絶対圧 - 1.0 ~ 6.9 bar です。真空圧力制御、有毒ガス分析、バルブ・マニホールド・ボックス、ガスキャビネット、半導体製造などに最適。

圧力定格
最大入口圧力: 120、600、3500 psig / 8.3、41.4、241 bar
排出圧力の範囲: 50 mm Hg 絶対圧 -
15、30、60、100 psig / 1.0、2.1、4.1、6.9 bar
本体材質
316L ステンレス鋼電解研磨または 316L VAR ステンレス鋼電解研磨
バルブシート
Teflon®、PCTFE
ダイヤフラム
316L ステンレス鋼
バルブステム、スプリング & バルブガイド
316 ステンレス鋼
動作温度
Teflon® シート: -40°F ~ 160°F / -40°C ~ 71°C
PCTFE シート: -40°F ~ 140°F / -40°C ~ 60°C
ポートのサイズとタイプ
1/4 H.P.I.C.
1/4、1/2 雄型スイベル
1/4、1/2 雌型スイベル
入口ポート: 1/4 雄型、出口ポート: 1/4 雌型
入口ポート: 1/4 雌型、出口ポート: 1/4 雄型
1/4 チューブスタブ
流量係数
Cv = 0.24(120 psig / 8.3 bar モデル)
Cv = 0.15(600 psig / 41.4 bar モデル)
Cv = 0.06(3500 psig / 241 bar モデル)
重量
2 lbs / 0.9 kg
追加情報
カスタム修正または完全なシステムソリューションについては、最寄りの営業所にお問い合わせください。

機能

  • 真空および低陽圧を制御するための負のバイアス
  • 10 Raマイクロインチ / 0.25 マイクロメートルの内部表面処理
  • メタルダイヤフラムが本体をシールし、高い漏れの完全性を実現
  • Hastelloy® トリムオプションが利用可能

文書と図面