半導体製造

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エマソンの半導体製造装置&製造技術は、半導体製造プロセスにおいて高い精度を保証します。

半導体製造ガス供給技術で歩留まりを向上

重要な半導体製造アプリケーションの場合、最も必要ないのはダウンタイムです。当社は、汚染物質を減らし、最適な歩留まりを達成するための信頼できるプロセスを提供する必要性を理解しています。世界中の半導体製造工場やファウンドリで、エマソンの半導体製造装置、製造技術、およびガス供給システムレギュレータは、優れた性能を発揮することで信頼されています。エマソンのグローバルネットワークを通じて、半導体の製造プロセスについてローカライズされたサポートを提供することができます。

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専門分野

半導体製造者は、特別ガスを大量にかつ高流量で連続的に供給することにより、スループットと生産時間を最大化することのできる堅牢なバルク特別ガスシステム (BSGS) に依存しています。エマソンのレギュレータは、大規模な伝送を容易にできるように設計されています。弊社製品は、長期間の稼働を可能にし、信頼性の高い主要なコンタクトポイントを提供すると同時に、お客様のアプリケーション全体での高いスループットを確保するお手伝いをします。 

最終使用者は、製造用の工具や用途に接続するガス分配ポイントでの正確な圧力制御を必要とします。エマソンのレギュレータは、バルブの吸気圧ボックスとプロセスツール間に優れた圧力制御を提供します。当社の技術設計は、プロセスの品質、純度、再現性を保証する信頼性の高い最終接点を作成し、媒体汚染によって不良品となった製品の数を減らすことで歩留まりを向上させます。

ガスキャビネットシステムは、頻繁に危険なメディアを正確に制御し、半導体製造システム内で使用するために保管するのに適しています。エマソンの TESCOM レギュレータは、ガス分配チェーンにおけるこの一体型ポイントの完全性を確保するのに役立ちます。オペレーティングインターフェイスと制御を向上させることにより、エンドユーザーは保守作業を簡素化し、ダウンタイムを削減し、より多くの生産スケジュールを管理することができます。 

エマソンの TESCOM ガス圧力レギュレータは、製造施設全体で信頼性が高く安全な半導体ガス供給システムを確保するために最適化されたレギュレータです。使いやすく、設置と多様性に優れており、製品ターゲットの変更や拡張に最適なモジュール機能を備え、カスタマイズされたソリューションをサポートし、高い信頼性基準のアプリケーションに適応させることができます。弊社の信頼されるグローバルネットワークは、具体的なアプリケーションの課題に対してローカライズサポートを提供します。

半導体製造プロセスは、生産ツールと半導体ウエハーに付着する空気中の分子汚染物質 (AMC) を制御することに依存しており、ウエハーの幾何学的設置面積を減らしたことでより困難になっています。エマソンのソレノイド技術は、応答性の高い正確な流量制御を実現し、窒素パージステーションの性能と信頼性を向上させ、メンテナンスやダウンタイムを低減するとともに、スループットを向上させます。

高いスループットと信頼性の基準への挑戦により、半導体製造はシステムインテリジェンスと通信に依存するようになりました。エマソンの温度、流量、圧力および位置の正確な制御は、処理システムのすべての要素に触れる高度なIIoT機能によってサポートされています。当社のソリューションは、バルブへの一貫した通信を提供し、最も要求の厳しい半導体製造アプリケーションでの Web サーバーの統合を可能にします。

半導体製造に関するよくある質問

高い半導体製造歩留まり率を達成するために、エマソンができること
半導体製造施設のデジタル化が必要である理由
半導体製造とは?
リアルタイム データは、半導体製造における予防保守をどのようにサポートできるでしょうか?
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チップの性能と信頼性を確保するために、エマソンができること
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